Muutamilla keräämättömillä hiukkasilla tai kaasumolekyylillä voi olla erittäin vakavia seurauksia joissakin prosesseissa. Kuvittele, mitä haittaa saastunut ilma voisi tehdä puolijohteiden, kiintolevyjen ja muiden erittäin herkkien prosessien valmistukseen.
Puolijohteiden valmistuksessa edistyneet tuotantomenetelmät vaativat erittäin puhdasta ilmaa, ja puhtausvaatimukset kasvavat jatkuvasti. Kiekkoympäristön kriittinen hiukkaskoko on nyt alle 25 nm (2009), ja ennusteiden mukaan tämä koko supistuu edelleen kohti 10 nm:ää vuoteen 2017 mennessä. Ilmassa kulkeva molekyylikontaminaatio (AMC) on nyt suuri ongelma kaikissa kehittyneissä mikroelektroniikkateollisuudessa. Monien AMC-vaikutusten on havaittu vaikuttavan tuotannon tuottoon. Esimerkiksi kiintolevyjen tai kiekkojen hapan korroosio, kondensoituva orgaaninen kerrostuminen herkille pinnoille tai altistuminen alhaisille ammoniakkipitoisuuksille ovat kaikki osoittaneet vaikuttavan erilaisiin prosessivaiheisiin.
Puhdastilan sydän on sen suodattimet, mutta huoneiden luokitteluun, suodattimen valintaan ja suodattimien ympäristövaikutuksiin liittyy useita näkökohtia.
SAF:lla on hyvät mahdollisuudet suositella parasta ratkaisua edistyneeseen hiukkasten ja AMC-hallintaan yli 16 vuoden kokemuksella mikroelektroniikan ja puolijohteiden kontaminaatioiden hallinnasta sekä osallistumisemme kansainväliseen puolijohteiden teknologian etenemissuunnitelmaan.
HEPA-, ULPA- ja molekyylisuodattimet valmistetaan valvotuissa ympäristöissä SAF:n ISO 9000 -sertifioiduissa tehtaissa. Voimme valmistaa samantyyppisiä suodattimia useissa tuotantolaitoksissa. Suuri tuotantokapasiteettimme varmistaa tuotteidemme saatavuuden kaikkina aikoina kaikkialla maailmassa.
Suojaus:
-
Kiekot ja puolijohteet
-
Mikroelektroniset prosessilaitteet
-
Kovalevyt
-
Painetut piirilevyt
-
Litteät näytöt
-
Aurinkopaneelit